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PPH晶圆载具
PPH(高纯PP) 半导体

PPH晶圆载具

PPH厚板CNC整体铣削的晶圆转运载具,槽位精度±0.2mm;耐酸碱槽液,强氧化体系可改PVDF,槽距按片径定制,支持单件试制。

材质
PPH 高纯均聚聚丙烯(低析出,适合高纯工艺)
密度
0.91–0.93 g/cm³
长期使用温度
-20 ~ 80℃(短时 95℃)
耐腐蚀性
耐大多数酸、碱、盐水溶液(强氧化性介质请来电确认)
尺寸
常规规格现货,非标定制
特性
耐酸碱、易清洗、可堆叠
可选
食品级原料、防静电配方
应用行业
半导体
定制
源头工厂,支持非标定制 / 来图加工
以上为该系列常规参数范围,具体规格以工况选型确认为准,欢迎来电核对。

晶圆在清洗槽、蚀刻槽之间流转,载具两头都不能出错:既不能污染片子,也不能被槽液啃出变形。PPH 晶圆载具用均聚聚丙烯整体机加工成型,为的就是同时守住这两条。

它在湿制程里承担什么

载具的工作环境是各类酸碱清洗、蚀刻槽液,长期浸泡、反复提放。PPH 对大多数酸碱盐介质稳定,本体不生锈、不掉漆,没有金属离子析出的来源;需要注意的是强氧化性槽液(如含双氧水的清洗体系),要按浓度和温度逐项确认,超出 PP 适用范围时改用 PVDF 制作——PVDF 长期耐温 -40~140℃,热槽工位也用得住。PP 材质的使用温度按长期 80℃ 以内掌握。

机加工件的精度从哪来

载具不走焊接拼装路线,以厚板 CNC 铣削为主:槽位、卡缝、提手在一次装夹里加工出来,精度 ±0.2mm,槽位间距均匀一致,片子插取顺畅不啃边。加工完成后逐件去毛刺、清理棱角——毛刺既伤片又藏污,这道工序不能省。槽位间距、槽宽、装片数按您的片径和工艺图纸定,来图定制,不套用固定模具。

先做一件,再谈批量

载具类工装的稳妥做法是先出一件试制品,装片验证槽位配合和过槽顺畅度,确认无误再放量——我们支持单件小批量起做,试制与批量走同一套加工程序,尺寸一致性有保障。配套槽体如PPH 退火槽可同厂制作;光伏硅片场景的承载件见PP 硅片花篮。图纸发来 48 小时内回复报价与交期。

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