2018.01.06
25片晶圆按6.35mm节距排入PPH花篮,首末中心距是152.4mm
PPH晶圆花篮装25片晶圆时,首片中心到末片中心之间只有24段节距。若批准节距为6.35 mm,中心距总长为24×6.35=152.4 mm,而不是25×6.35。
外包长度还要加两端半节距
若首末槽中心分别距端部3.175 mm,即半个节距,槽位基准包络长度为152.4+2×3.175=158.75 mm。端板厚度、把手与工艺夹持区应另加,不能把158.75 mm当花篮运输外形。
节距平均值会掩盖局部卡片
总中心距正确,不代表24段都为6.35 mm。若某段大0.5 mm、相邻段小0.5 mm,总长仍可闭合,却可能造成局部晃动或夹持。检验应保留逐槽坐标或合格量规结果。
ISO 14644-1规定洁净区空气粒子浓度分类的测量框架;ISO 14644-15讨论设备和材料按空气化学浓度评估适用性。两者都不直接定义晶圆花篮槽距、材料析出或工艺洁净限值。
几何与洁净分开验收
首件至少完成1次装片与取片循环,并按项目方法检查槽口、毛刺、表面清洁和封装。顺利装入25片不证明颗粒、离子或化学析出合格。
供货责任界面
金浩丰可按批准晶圆尺寸、节距和结构加工PPH花篮。洁净等级、材料纯度指标、清洗、搬送兼容性和晶圆安全由项目方确定。
