2026.10.06

PPH湿制程槽体如何设计？结构、溢流和排液要点

PPH湿制程槽体不是把几块板焊成一个方箱。结构要承受液压、温度和机械手动作，溢流要稳定带走表面污染，排液要避免残留与串液；三者都受化学品、晶圆节拍和洁净指标约束，必须在同一张工艺剖面上闭合。

六项载荷决定板厚和加强

计算至少覆盖液体密度与液深、连续/峰值温度、工件与载具、循环喷流反力、接口外载、地震或设备运动6项载荷。PPH晶圆清洗槽的外框和底座由设计方按实际寿命校核，不能用“PPH耐腐蚀”替代长期蠕变计算。

多格槽至少比较全部正常液位与一格排空、邻格满液2种液位；后者会让公共隔板承受单侧差压。检修、溢流堵塞和紧急排放还可能形成更不利组合。PP级联清洗槽的槽间落差、隔板焊缝与框架要一起计算。

堰口不水平会造成一端短路，液面颗粒留在远端。循环入口、工作区和溢流出口构成完整流场，应通过示踪或多点水质检测验证，不只看总流量。堰箱还要能拆洗，避免下方成为看不见的沉积槽。

工艺循环、补充/漂洗、废液排放3道流路分别标识并设置所需防倒流措施。EPA资料指出半导体湿法站会使用多种酸、碱、氧化剂与溶剂，且通常配专用漂洗；不相容废液不能因底部空间紧张合并到一根公共软管。

进液、回流、溢流、排液、液位/温度仪表5个接口要留拆装与观察空间，重阀和管道独立支撑。底排口位于真正低点，内表面过渡平顺；设备框架不能挡住法兰螺栓。可达接液焊缝100%按批准程序外观检查并留追溯号。

先按设计程序做尺寸和严密性检查，再运行循环与溢流验证各点液位和流量，最后按工艺清洗并检测污染。静置24小时无渗漏不等于溢流均匀，也不证明颗粒合格；三套记录分别判定，任何变更泵、喷嘴或排液阀都评估影响。