2026.10.09

PPH清洗槽怎么设计？溢流、循环和排液如何布置

PPH清洗槽的溢流、循环和排液构成3条流路：溢流控制液面并带走表面污染，循环维持混合与过滤，排液负责彻底清空。把三者接到一个方便的管口，会产生短路、死区、倒灌和难清洗残液。

工件运动先确定有效槽腔

最大工件、载具、升降偏摆、喷流、液面波动和机械手重复精度共同决定净空。槽壁到工件的距离需防碰撞并允许液体交换；外部加强、槽盖和排风罩不得侵入运动包络。PPH纯水冲洗槽按批准工艺尺寸制造。

堰口局部偏低会让大部分液体从一端短路，另一端表面污染滞留。进水、工作区和溢流之间形成最长有效流路，用入口、近端、中部、远端、溢流共5个测点比较电导率、温度或示踪剂，而不只看总补水流量。

回流入口分散布置，避免直接冲击晶圆或焊缝；泵吸入口与槽底保留可排尽的几何关系，并设置可维护过滤。泵、阀和过滤器重量由机架承担。循环停止时防止高位管路虹吸或过滤器污液倒流回洁净槽。

槽底坡向排口，内表面连续，不能用突出内螺纹形成积液杯。进水、回流、溢流、底排、液位和温度至少6个接口逐一检查可拆空间、材料与死角；阀后公共排水按不相容化学品隔离。PP级联清洗槽还要核对槽间串液。

多格槽至少计算全部处于正常液位、以及一格排空而邻格满液2种液位组合。后者会让公共隔板承受单侧液压，常比同时满液不利。正常溢流管不能兼作唯一事故溢流，异常液位和停电去向由工艺设计确定。

可达焊缝100%外观检查并完成严密性试验；再测堰口流量分布和循环更新；最后排空并量化低点残液。稳定运行24小时复查液位、支架、接口和污染趋势，并保存基准数据。严密、流场、洁净各有判据，不能互相替代。