PPH酸排废气塔

晶圆厂的酸排（Acid Exhaust）有两个和一般车间废气不一样的地方：一是风量大、浓度低但成分杂，清洗、蚀刻工序的氢氟酸、盐酸、硝酸雾混在同一路总管；二是不能停，产线连续运行，排风系统跟着连轴转。塔的设计要围绕这两点来。

参数怎么落

• 风量按厂务酸排总管核算，单塔覆盖 1,000–100,000 m³/h，超出可并联分塔；
• 酸雾去除率 ≥95%，液气比 1–3 L/m³，循环水量按液气比反推；
• 塔体阻力 ≤500Pa，接入厂务风机前把系统全程压损算清，避免和既有风管抢风量；
• 塔体用 PPH 板卷制热熔焊接，长期使用温度 -20~80℃，酸排常温工况裕量充足。

成分表里要单独盯的是硝酸

PPH 对氢氟酸、盐酸这类非氧化性酸耐受性好，但硝酸属强氧化性介质，浓度、温度不同结论不同，必须逐项确认；氧化性组分占比高的支路，建议塔体或至少接触段改用 PVDF（长期 -40~140℃）。这一步在设计阶段确认，比塔装好后再换材料代价小得多。

和通用酸雾塔差在哪

工作原理与PP立式酸雾净化塔一致，差别在配置取向：酸排塔按连续运行设计，喷淋分层与除雾段针对低浓度大风量优化，材质选耐温更稳的 PPH；制作环节焊缝逐条做电火花检测，水箱段满水试漏后出厂。本塔管的是厂务酸排总管这一路；单点排出的高浓度工艺尾气吸收，PPH吸收塔更对口。风量、塔径按厂务资料核算，可来图定制。